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• China Reportedly Develops Lithography Machine With Precision Rivalling ASML’s High-NA EUV, But Limited to Research Applications, Not Mass Production

（首圖來源：中國杭州人民政府）

延伸閱讀
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• 中媒
  ：中國推出首款國產電子束蝕刻機「羲之」

文章看完覺得有幫助，至於這些努力能否真正轉化為實質技術突破 ，導致成本偏高、